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我国石墨烯玻璃晶圆氮化物材料外延取得原创性突破

来源: 浏览次数:19519 发布日期:2021-08-05 手机版

记者从北京石墨烯研究院获悉,中国科学院院士、北京大学/北京石墨烯研究院院长刘忠范、中国科学院半导体研究所研究员刘志强、北京大学物理学院研究员高鹏近日提出了纳米柱辅助范德华外延方法。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在国际上首次成功地在玻璃衬底上“异质外延”制备了连续、平整的准单晶氮化镓(GaN)薄膜,并制备了蓝色发光二极管(LED),相关成果发表在7月30日的《科学进展》上。