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光刻胶的分类有什么?

来源: 浏览次数:173 发布日期:2019-05-14 手机版

  光刻胶别名叫光致抗蚀剂,成分有感光树脂、增感剂和溶剂,是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,1954 年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。

  下面小编给大家说说光刻胶的分类。



  光聚合型

  采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点。

  光分解型

  采用含有叠氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性,可以制成正性胶。

  光交联型

  采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典型的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。

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